• 產(chǎn)品名稱:超高純壓力傳感器

  • 產(chǎn)品型號:UNIK 1000 VCR系列(PTX1072)
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簡單介紹
本產(chǎn)品適用于: 1. 半導體、太陽能、液晶面板制造設備 2. 純介質(zhì)和特殊氣體系統(tǒng)壓力測量 3. 超高純及有毒等特種電子氣體等
產(chǎn)品描述


應用行業(yè):


  • 半導體、太陽能、液晶面板制造設備
  • 純介質(zhì)和特殊氣體系統(tǒng)壓力測星


應用流體:


  • 超高純及有毒等特種電子氣體


特點:


  • 可測真空壓力,量程范圍:0-7MPa
  • 測量精度可達±0.25% FS BSL;
  • 工作溫度范圍:-40~8FC;
  • 硅壓阻敏感元件,高穩(wěn)定性,高可靠性;
  • 316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
  • 壓力接頭脫脂清洗,產(chǎn)品真空包裝;
  • 快速響應時間,上電時間小于30ms;
  • 所有接液部分表面電拋光處理,符合EP Grade5;
  • 所有接液部分表面粗糙度不超過Ra 0.2;




性能指標

0-7MPa表壓之間任意選擇

0-7MPa顚之間任誕擇

*大過壓

4xFS (2OMpa Max)

封堵壓力

6xFS (2OMpa Max)

精度等級

±0.25%FS BSL BSL*佳擬合直線)

溫度影響

±15%FSTHB TEB:溫度誤差帶)

材質(zhì)

316L不銹鋼

供電電壓

7~32Vdc

輸出形式

4~20mA;V

工作溫度范圍

-40 ~ +80 C

卜償溫度范圍

-20 ~ +80C

頻率響應

3.5KHZ

上電時間

<30ms

絕緣電阻

>100MQ@500VDC

長期穩(wěn)定性

±0.1%FS 每年

壓力介質(zhì)

316L不銹鋼兼容的流體

零點允許誤差

±1.0%FS

滿量程允許誤差

±1.0%FS



電氣接口性能



編號 描述 *大工作溫度范圍  IP等級     零、滿調(diào)整
7 DIN43650.可拆卸 -40~+80 65
G  M12*l四針 -40~+80 65

電氣連接

接頭類型 選項編號 電子產(chǎn)品選項 I
4 - 20 mA 電壓1
DIN, MicroDIN 7,D 1 +ve供電 +ve供電
2 -ve供電 0V共地
3 - +ve輸出
E 外殼 外殼
M12*l四針 G 1 +ve供電 +ve供電
2 - +ve輸出
3 -ve供電 0V共地
4 外殼 外殼




京公網(wǎng)安備 11010502035250號