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應用行業(yè)：
- 半導體、太陽能、液晶面板制造設備
- 純介質(zhì)和特殊氣體系統(tǒng)壓力測星
應用流體：
- l 超高純及有毒等特種電子氣體
特點：
- l 可測真空壓力，量程范圍：0-7MPa
- l 測量精度可達±0.25% FS BSL；
- l 工作溫度范圍：-40~8（FC；
- l 硅壓阻敏感元件，高穩(wěn)定性，高可靠性；
- l 全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
- l 壓力接頭脫脂清洗，產(chǎn)品真空包裝；
- l 快速響應時間，上電時間小于30ms;
- l 所有接液部分表面電拋光處理，符合EP Grade5；
- l 所有接液部分表面粗糙度不超過Ra 0.2；
性能指標
量程
0-7MPa表壓之間任意選擇
0-7MPa顚之間任誕擇
*大過壓
4xFS (2OMpa Max)
封堵壓力
6xFS (2OMpa Max)
精度等級
±0.25%FS BSL （BSL*佳擬合直線）
溫度影響
±15%FSTHB （TEB:溫度誤差帶）
材質(zhì)
316L不銹鋼
供電電壓
7~32Vdc
輸出形式
4~20mA;V
工作溫度范圍
-40 ~ +80 C
木卜償溫度范圍
-20 ~ +80C
頻率響應
3.5KHZ
上電時間
<30ms
絕緣電阻
>100MQ@500VDC
長期穩(wěn)定性
±0.1%FS 每年
壓力介質(zhì)
與316L不銹鋼兼容的流體
零點允許誤差
±1.0%FS
滿量程允許誤差
±1.0%FS
電氣接口性能
編號
描述
*大工作溫度范圍℃
IP等級
零、滿調(diào)整
7
DIN43650.可拆卸
-40~+80
65
是
G
M12*l四針
-40~+80
65
否
電氣連接
| 接頭類型 | 選項編號 | 電子產(chǎn)品選項 I | ||
| 4 - 20 mA | 電壓1 | |||
| DIN, MicroDIN | 7,D | 1 | +ve供電 | +ve供電 |
| 2 | -ve供電 | 0V共地 | ||
| 3 | - | +ve輸出 | ||
| E | 外殼 | 外殼 | ||
| M12*l四針 | G | 1 | +ve供電 | +ve供電 |
| 2 | - | +ve輸出 | ||
| 3 | -ve供電 | 0V共地 | ||
| 4 | 外殼 | 外殼 | ||
